Après le génocide, la loi fut un moyen d'obtenir justice. Après la Seconde Guerre mondiale, des tribunaux internationaux et nationaux jugèrent des personnes accusées d'être des criminels de guerre. A partir de l'hiver 1942, les gouvernements des puissances alliées annoncèrent leur détermination de punir les criminels de guerre nazis. Le 17 décembre 1942, les dirigeants des États-Unis, de Grande-Bretagne et d'Union soviétique publièrent la première déclaration conjointe mentionnant officiellement l'extermination en masse des Juifs européens et décidant de poursuivre en justice les responsables de violences à l'encontre des populations civiles.
Chief US Counsel Justice Robert Jackson delivers the prosecution's opening statement at the International Military Tribunal. Nuremberg, Germany, November 21, 1945.
La Déclaration de Moscou d'octobre 1943, signée par le président américain Franklin D. Roosevelt, le Premier ministre britannique Winston Churchill et le dirigeant soviétique Joseph Staline, affirmait qu'après l'armistice, les individus jugés responsables de crimes de guerre seraient extradés dans les pays où les actes avaient été commis, et jugés d'après les lois de la nation concernée. Les "grands" criminels de guerre, dont les crimes ne pourraient être circonscrits à un lieu géographique précis, seraient passibles de peines infligées conjointement par les gouvernements alliés. Les procès des principaux responsables allemands devant le Tribunal militaire international (TMI) — les plus célèbres des procès d'après-guerre — se tinrent à Nuremberg, en Allemagne, devant des juges des puissances alliées.
Entre le 18 octobre 1945 et le 1er octobre 1946, le TMI jugea 22 "grands" criminels de guerre accusés de crimes contre la paix, de crimes de guerre, de crimes contre l'humanité et de complot en vue de commettre ces crimes. Le tribunal définit les crimes contre l'humanité comme "assassinat, extermination, asservissement, déportation… ou persécutions pour des raisons politiques, raciales ou religieuses". Douze des accusés reconnus coupables furent condamnés à mort, dont Hans Frank, Hermann Göring, Alfred Rosenberg et Julius Streicher. Le TMI prononça trois peines de prison à vie et quatre peines de prison allant de 10 à 20 ans. Trois des accusés furent acquittés.
Sous l'égide du TMI, les tribunaux militaires américains menèrent douze autres procès d'officiers supérieurs allemands à Nuremberg. Ces procès sont souvent désignés collectivement par l'expression "autres procès de Nuremberg". Entre décembre 1946 et avril 1949, les procureurs américains jugèrent 177 personnes et en condamnèrent 97. Des médecins, des membres des unités mobiles d'extermination, des membres de l'administration judiciaire allemande et du ministère allemand des Affaires étrangères, des membres du Haut Commandement militaire allemand ainsi que d'importants industriels allemands firent partie des personnes jugées.
La très grande majorité des procès pour crimes de guerre après 1945 concerna des fonctionnaires et des officiers de rang inférieur. Dans les premières années de l'après guerre, les quatre forces alliées qui occupaient l'Allemagne (et l'Autriche) — les Etats-Unis, la Grande-Bretagne, la France et l'Union soviétique — conduisirent des procès dans leur zone d'occupation et déférèrent pour jugement de nombreux auteurs de crimes de guerre. Bon nombre des premiers procès dans les zones, notamment dans la zone américaine, concernaient l'assassinat de militaires alliés qui avaient été capturés par les troupes allemandes ou de l'Axe. Avec le temps, cependant, les occupants alliés élargirent leur mandat juridique pour juger les gardiens et les commandants des camps de concentration et d'autres responsables de crimes contre les Juifs ou de persécutions contre des populations dans les zones désormais occupées par les Alliés. Une grande partie de nos premières connaissances du système concentrationnaire viennent des preuves et des témoignages oculaires recueillis lors de ces procès.
Les fonctionnaires d'occupation de la zone alliée souhaitaient une dénazification de l'Allemagne et considérèrent la reconstruction du système judiciaire allemand comme une étape importante dans ce sens. La loi du Conseil de contrôle allié n°10 de décembre 1945 autorisa les tribunaux allemands à prononcer des sentences sur les crimes commis, pendant les années de guerre, par des citoyens allemands contre d'autres ressortissants allemands ou contre les apatrides. Les autorités d'occupation laissèrent ainsi les crimes d'euthanasie — où les victimes et leurs auteurs étaient majoritairement allemands — aux tout nouveaux tribunaux allemands.
Ces procédures représentent les premiers jugements allemands du début de l'après-guerre. La République Fédérale d'Allemagne (Allemagne de l'Ouest) et la République Démocratique allemande (Allemagne de l'Est) menèrent également des procès contre les accusés de l'époque nazie dans les décennies qui suivirent leur création en tant qu'Etats indépendants. A ce jour, la République Fédérale (en tant qu'ex-Allemagne de l'Ouest et dans son état actuel d'Allemagne réunifiée) a mené 925 procès pour crimes nazis. Les procès allemands, et en particulier ceux qui furent tenus dans les années 60 et 70, furent critiqués pour avoir acquitté ou condamné à des peines légères les prévenus âgés ou qui prétendaient avoir obéi aux ordres de leurs supérieurs.
De nombreux pays qui furent occupés par l'Allemagne pendant la Seconde Guerre mondiale ou qui collaborèrent avec elle à la persécution des populations civiles, et particulièrement des Juifs, menèrent également des procès dans les années qui suivirent la Seconde Guerre mondiale. La Pologne, l'ex-Tchécoslovaquie, l'Union soviétique, la Hongrie, la Roumanie et la France, entre autres, ont jugé des milliers d'accusés (des Allemands et des collaborateurs nationaux) dans les décennies qui suivirent la Seconde Guerre mondiale. L'Union soviétique tint son premier procès, le procès de Krasnodar, contre les collaborateurs locaux en 1943, bien avant la fin de la Seconde Guerre mondiale. Le procès de Cracovie, en 1947, fut le plus célèbre de l'après-guerre en Pologne. De nombreux fonctionnaires du camp de concentration d'Auschwitz y furent jugés et le commandant du camp Rudolf Höss, y fut, parmi d'autres, condamné à mort. Un des plus célèbres procès nationaux menés contre des criminels allemands fut celui d'Adolf Eichmann (le maître d'oeuvre de la déportation des Juifs européens) devant un tribunal israélien en 1961. Ce procès retint l'attention du monde entier et l'on considère qu'il permit à une nouvelle génération issue de l'après guerre, de s'intéresser aux crimes de la Shoah.
Malheureusement, de nombreux criminels nazis ne furent jamais condamnés ou poursuivis. Dans de nombreux cas, ils retournèrent à une vie normale et reprirent une vie professionnelle dans la société allemande. La chasse aux criminels de guerre allemands et de l'Axe se poursuit encore aujourd'hui.